Оператор прецизионной фотолитографии: обучение и документы

Оператор прецизионной фотолитографии подготавливает кремниевые пластины и заготовки масок для нанесения светочувствительного покрытия, а также осуществляет процесс совмещения рисунка топологии схемы с фотошаблоном. В его обязанности входит контроль качества на различных этапах, включая оценку клина проявления и замеров линейных размеров, а также проведение травления различных материалов. Этот специалист работает с многослойными структурами и сложными стеклами, подбирая и корректируя режимы нанесения, экспонирования и проявления в зависимости от применяемых материалов.

Для официального трудоустройства на должность оператора прецизионной фотолитографии требуется документ о квалификации, подтверждающий профессиональную подготовку. Таким документом является свидетельство о профессии рабочего или удостоверение. Наличие такого документа необходимо при устройстве на новое место работы, а также может потребоваться для допуска к выполнению определённых операций или при повышении квалификационного разряда.

Обучение и оформление документов о квалификации для оператора прецизионной фотолитографии проводят учебные центры, имеющие соответствующую лицензию. Подобрать подходящий вариант по профессии и городу можно, обратившись к консультанту в чате на этой странице.

Разряды и квалификация: оператор прецизионной фотолитографии

Для профессии «оператор прецизионной фотолитографии» предусмотрены разряды со второго по седьмой, код по классификатору ОКПДТР — 15916.

2-й разряд. Подготовка пластин кремния, заготовок масок, ситалловых, керамических, металлических и стеклянных пластин с маскирующим слоем перед нанесением светочувствительного покрытия (обезжиривание и декапирование, промывка, сушка). Нанесение и сушка светочувствительного покрытия; контроль качества выполненной работы (оценка клина проявления, неровности края, замеры линейных размеров с помощью микроскопа МИИ-4). Сушка заготовок в термостате. Удаление светочувствительного покрытия в случае необходимости. Формирование партии пластин для обработки на автоматизированном оборудовании. Разбраковка изделий по параметру неплоскостности, по внешнему виду, по номеру фотолитографии, по типономиналу.

3-й разряд. Проведение фотолитографических операций по совмещению элементов рисунка топологии схемы на пластине с соответствующими элементами на фотошаблоне с точностью +/- 5 мкм на установках совмещения и экспонирования. Экспонирование, проявление и задубливание фотослоя, а также травление различных материалов (окиси кремния, металлов и многокомпонентных стекол, включая многослойные структуры из различных металлов) по заданным в технологии режимам. Контроль качества травления. Термообработка, отмывка фотошаблонов в процессе их эксплуатации. Приготовление растворов для проявления, травления. Фильтрация фоторезиста. Снятие фоторезиста в кислотах, органических растворителях.

4-й разряд. Проведение всего цикла фотолитографических операций с разными материалами на одном образце с точностью совмещения +/- 2 мкм. Травление многослойных структур (AL-MO-AL) и сложных стекол (ФСС, БСС). Подбор и корректировка режимов нанесения, экспонирования, проявления, травления в зависимости от применяемых материалов в пределах технологической документации. Отмывка фотошаблонов, нанесение, сушка фоторезиста, проявление, задубливание, травление на автоматических линиях. Определение толщины фоторезиста и глубины протравленных элементов с помощью профилографа, профилометра. Определение адгезии фоторезиста и плотности проколов с помощью соответствующих приборов.

5-й разряд. Проведение фотолитографических операций по изготовлению: теневых масок со сложной конфигурацией и ассиметричным расположением отверстий; совмещенных микросхем, состоящих из полупроводниковой активной подложки с напыленными пленочными элементами; выводных рам для интегральных схем, трафаретов и других узлов и деталей, требующих прецизионной обработки. Проведение фотолитографических операций на многослойных структурах с размерами элементов менее 10 мкм с точностью совмещения +/- 1 мкм.

6-й разряд. Проведение всего цикла фотолитографических операций по изготовлению микросхем и пластин различных типов с размерами элементов менее 5 мкм и точностью совмещения +/- 0,5 мкм. Обслуживание всех видов установок совмещения, применяемых в прецизионной фотолитографии. Контроль качества проявленного и травленного рельефа, работа со всеми видами фоторезисторов (негативным и позитивным) с применением любых типов ламп ультрафиолетового свечения; самостоятельный подбор и корректировка режимов работы. Выявление и устранение причин, вызывающих низкое качество фотошаблонов в процессе их изготовления. Аттестация геометрических размеров элементов на маске с помощью микроскопов с точностью +/- 1 мкм.

7-й разряд. Проведение полного цикла фотолитографического процесса по изготовлению сверхбольших интегральных схем (СБИС) с размерами элементов 2 мкм, точностью совмещения +/- 0,15 мкм и размером рабочего модуля 10x10 мм. Обслуживание установок совмещения и мультипликации всех типов, установок нанесения и сушки, проявления и задубливания фоторезиста на линии типа Лада-150 с программным управлением. Ввод коррекции на совмещение слоев, оценка значения масштаба и разворота на проекционной печати, качества совмещения внутри модуля и по полю пластины. Ввод рабочих программ для обеспечения автоматического режима работы оборудования.

Сведения приведены по Единому тарифно-квалификационному справочнику работ и профессий рабочих.

Как подтвердить квалификацию

Документ о профессиональном обучении вносится в федеральный реестр ФРДО, поэтому работодатель может проверить его подлинность онлайн. Если не понимаете, какой именно документ требуется в вашем случае, спросите в чате: разберём ситуацию бесплатно, персональные данные для этого не нужны.